【取扱製品】
TEM/FIB試料の最終仕上げ用のイオンビームワークステーション
標準的な高エネルギーイオンミリング装置やFIBで加工された試料の最終仕上げ用にデザインされており、表面のクリーニング、ダメージ層やアモルファス層の除去が行えます。
アーチファクトやダメージのない試料が必要なお客様にお勧めします。
特徴
低エネルギーイオン銃
イオンエネルギー 100~2000eV
イオン電流密度 最大10mA/cm2
ビーム電流 7~80μA
ビーム直径 約2mm
試料ステージ
ミリング角度 0°~40° (0.1°間隔)
試料回転 360°
試料揺動 ±10度~±120度
最大サンプル厚 200μm
SEMアプリケーションのためのAI搭載試料作製装置
SEMおよびEBSD試料作製用にデザインされた
受賞歴のある精密ミリング装置です。
機械研磨された試料の表面改質やクリーニング
ダメージ層の除去が行えます。
特徴
イオン銃
最大16keVの高エネルギーイオン銃
0~2keVの低エネルギーイオン銃(オプション)
サンプルホルダ
表面ミリングホルダ
30°スロープカット用ホルダ(オプション)
90°断面カット用ホルダ(オプション)
VTU*用ホルダ(オプション) * Vacuum Transfer Unit
試料ステージ
傾斜 ±30°
回転 360°
揺動 ±1°~±360°
試料冷却
液体窒素冷却あるいはペルチエ冷却(どちらもオプション)
SEMPREP SMARTのスロープカット用、試料位置調整ツール
加工位置をミクロン精度で調整することが可能です。
測長機能も有しています。
TEM試料および金属組織学用研磨装置
試料の平面研削、ディンプリング、薄片化、研磨用の精密機械加工装置です。
質の高い試料が簡単に作製できます。
特徴
丈夫で耐腐食性のある構造
回転スピード可変機能
自動操作用タイマー付
破損しやすいTEM試料用に、極小荷重での研磨が可能
実体顕微鏡下で作業ができる、精密切断装置
TEM試料や小さいSEM試料などの切り出しに特化した切断装置です。
0.01mmの精度で、ほぼすべての個体試料を切断できます。
特徴
XYZ方向に0.01mmの精度で切断位置調整が可能
実体顕微鏡下での使用が可能
ホイールの回転スピードを、35~410rpmの範囲で連続可変できます。
実体顕微鏡下で接着作業ができる、小型ホットプレート
サンプル埋め込みや熱可塑性接着が簡単に行えます。
装置サイズが小さいため、実体顕微鏡下で作業が行え、失敗が軽減します。
特徴
熱的に安定
50~150℃の範囲で連続可変