蛍光X線膜厚計 SFT110A

【中古品】

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 測定元素：原子番号Ti(22)～Bi(83)

線源：

　小型空冷X線管（Wターゲット、Be窓）

　管電圧50kV

　管電流1mA

検出器：比例計数管

コリメータ（〇型）：0.1、0.2 (mmφ)

試料観察：CCDカメラ

焦点合わせ：レーザーポインタ／オートフォーカス機能

フィルタ：一次フィルタ：Al-自動切替／二次フィルタ：Co-自動切替

試料ステージ：

　（テーブル寸法）X:250,Y:200(mm)

　（移動量）X:250,Y:200,Z:150(mm)

装置寸法：

　600(W)×815(D)×675(H) mm

測定ソフト：薄膜FP法（最大5層膜、10元素）、検量線法

安全機能：X線遮断機能、試料の衝突防止機能、装置診断機能