蛍光X線膜厚計 SFT9450

【中古品】

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測定元素：原子番号Ti(22)～Bi(83)
線源：

　小型空冷ハイパワーX線管（Moターゲット、Be窓）
　管電圧50kV
　管電流1.5mA

検出器：比例計数管＋半導体検出器（LN2レス）
コリメータ（〇型）：0.015、0.05、0.1、0.2(mmφ)
試料観察：CCDカメラ＋ズーム光学系

焦点合わせ：レーザーポインタ
フィルタ：

　一次フィルタ：Mo-自動切替

　二次フィルタ：なし

試料ステージ：

　（テーブル寸法）X:420,Y:3370(mm)

　（移動量）X:400,Y:300,Z:50(mm)

装置寸法：

　930(W)×860(D)×900(H) mm

測定ソフト：薄膜FP法（最大5層膜、10元素）、バルクFP法（材料組成分析）検量線法
安全機能：試料扉インターロック、試料の衝突防止機能