【取扱製品】
最高品質のTEM/FIBサンプル作成用イオンビームワークステーション
Technoorg Lindaの”Gentle Mill”は、標準的な高エネルギーイオンミルまたはFIBで処理されたサンプルの最終研磨、簡単な洗浄および改善を目的として設計されています。
アーチファクトフリーのサンプルやダメージフリーのサンプル作成が必要なユーザーにお勧めです。
特徴
『低エネルギーイオン源』
イオンエネルギー 100~2000eV
イオン電流密度 max.10mA/cm2
ビーム電流 7~80μA
ビーム直径 750~1200μm
『試料ステージ』
ミリング角度 0度~40度(0.1度間隔)
ローテーション 360度
オシレーション ±10度~±120度
TEMサンプル厚範囲 30~200μm
TEM/XTEMサンプル作成用 完全自動イオンビームシニング装置
Technoorg Lindaの”UniMill”は高品質TEM/XTEMサンプルを最高レベルのシニングレートで高速作成できるよう設計されています。高エネルギーイオン源で高速ミリングし、低エネルギーイオン源でクリーニングすることが可能です。
特徴
『超高エネルギーイオン源』(オプション)
イオンエネルギー 最大16keV
ビーム電流 最大500μA
イオンビーム直径 1.6~1.8mm(FWHM)
『高エネルギーイオン源』
イオンエネルギー 最大10keV
ビーム電流 最大300μA
イオンビーム直径 0.9~1.3mm(FWHM)
『低エネルギーイオン源』
イオンエネルギー 100eV~2keV
ビーム電流 80μA
イオンビーム直径 1.5~2.2mm(FWHM)
『試料ステージ』
ミリング角度 0度~40度(0.1度間隔)
ローテーション 360度
オシレーション ±10度~±120度
TEMサンプル厚範囲 30~200μm
サンプル冷却機能 オプション
高品質でサイトスペシフィックなSEM用サンプル作成装置
Technoorg Lindaの”SEMPrep2”『SC-2100』モデルは高エネルギーイオン源と低エネルギーイオン源を搭載したSEM断面サンプル作成を目的として設計されています。
『SC-2100』モデルで搭載された16keVの超高エネルギーイオン源は、以前と比べスパッタレートがより高くなっています。
特徴
イオン源(2種) 高エネルギーイオン銃(最大10keV)または、
超高エネルギーイオン銃(最大16keV:オプション)を選択
低エネルギーイオン銃(100eV~2keV)
サンプルステージ 30°ホルダー
90°ホルダー
サンプルチルト 0°~30°(0.1°間隔)
ローテーション 360°
オシレーション ±10°~±120°(5°間隔)
サンプルクーリング LN2クーリング(オプション)
ペルチェクーリング(オプション)